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Silicon Austria Labs와 EV Group, 광학 기술 연구에서 협력 강화

확장된 협력에는 EVG의 LITHOSCALE® 마스크리스 노광 시스템, EVG®7300 UV-NIL 시스템 및 보완적인 레지스트 처리 시스템 설치가 포함됩니다.

플로리안 / 그라츠오스트리아, 2023년 11월 13일— MEMS, 나노기술 및 반도체 시장을 위한 웨이퍼 본딩 및 리소그래피 장비의 선도적인 공급업체인 EV 그룹(EVG)과 전자 기반 시스템(EBS)에 대한 오스트리아의 선도적인 연구 센터인 Silicon Austria Labs(SAL)는 오늘 SAL이 오스트리아 필라흐(Villach)에 있는 MicroFab R&D 클린룸 시설에서 여러 개의 EVG 리소그래피 및 레지스트 처리 시스템을 받아 설치했습니다. 이번 설치는 마이크로 카메라와 마이크로 미러에 사용되는 웨이퍼 레벨 광학, 회절 광학, 자동차 광학 등 이종 통합 응용 분야를 위한 첨단 광학 기술의 개발 및 배포를 가속화하기 위한 두 회사 간의 강화된 협력의 일환입니다. 자율주행과 자동차 조명.

새로 설치된 EVG 시스템에는 LITHOSCALE이 포함됩니다.® 마스크리스 노광 시스템, EVG®7300 자동화된 SmartNIL® 나노임프린트 및 웨이퍼 레벨 광학 시스템뿐만 아니라 여러 보완적인 레지스트 처리 시스템도 포함됩니다. 이 시스템은 차세대 200mm 버전의 EVG의 첫 번째 설치를 포함하여 SAL의 기존 설치된 다중 EVG 본딩, 마스크 정렬 및 리소그래피 시스템 기반에 합류합니다.®150 자동 레지스트 처리 시스템은 이전 세대 플랫폼에 비해 훨씬 더 높은 처리량, 향상된 유연성 및 더 작은 도구 공간을 제공합니다.

또한 SAL은 NILPhotonics를 포함하여 EVG 본사의 기술 개발 및 애플리케이션 엔지니어링 팀과 긴밀히 협력해 왔습니다.® Competence Center는 EVG의 장비 및 프로세스 노하우를 활용하고 대량 제조로 이전 및 확장 가능한 프로세스를 개발합니다.

Silicon Austria Labs의 연구 부문 마이크로시스템 책임자인 Mohssen Moridi 박사에 따르면, “우리는 최근 메타 광학, 통합 포토닉스, MEMS를 포괄하는 다양한 최첨단 R&D 프로젝트에 몰두해 왔으며, 이로 인해 고급 리소그래피와 기술의 사용이 필요해졌습니다. 본딩 도구. EVG와의 소중한 파트너십을 통해 우리는 성공적인 R&D 노력에 가장 중요한 탁월한 신뢰성과 정밀성을 갖춘 도구에 접근할 수 있게 되었습니다. 특히 EVG7300 SmartNIL 시스템은 신흥 포토닉스 및 MEMS 장치를 위한 나노 구조의 대량 생산을 가능하게 하는 중추적인 도구로 부상했습니다. 그 응용 분야는 스마트 조명 시스템, AR/VR, 자동차 광학, 통신, 양자 기술 등 다양한 분야로 확장됩니다.”

SAL은 나노임프린트 리소그래피(NIL), 렌즈 몰딩 및 렌즈 적층(UV 본딩)과 같은 다양한 UV 기반 공정 기능을 단일 플랫폼에 결합하는 EVG의 가장 진보된 솔루션인 새로운 EVG7300 시스템을 받은 최초의 고객 중 하나입니다. . EVG7300은 마이크로 및 나노 패터닝은 물론 기능성 레이어 적층과 관련된 광범위한 신흥 응용 분야에 대한 고급 R&D 및 생산 요구 사항을 충족하기 위해 특별히 개발되었습니다.

EVG의 혁신적인 LITHOSCALE 마스크리스 노광 시스템은 높은 수준의 유연성이나 제품 변형이 필요한 시장 및 응용 분야의 리소그래피 요구 사항을 해결합니다. 실시간 데이터 전송 및 즉각적인 노출, 높은 구조화 해상도 및 처리량 확장성을 가능하게 하는 강력한 디지털 처리 기능을 결합하여 레거시 병목 현상을 해결합니다. 신속한 프로토타이핑에 이상적으로 적합하며 빠른 처리 시간과 R&D 주기 시간을 제공합니다.

EV 그룹의 기업 기술 이사인 Thomas Glinsner에 따르면, “Silicon Austria Labs는 광학 소형화 및 이종 통합을 위한 선도적인 연구 센터이자 EV 그룹의 전략적 파트너입니다. 우리의 고급 리소그래피 및 레지스트 처리 시스템의 최신 출하 및 설치는 우리의 관계를 더욱 강화하고 미래 핵심 기술을 개발하고 우리의 첨단 솔루션을 실제 산업 응용 분야에 적용할 수 있는 SAL의 능력을 지원합니다.”

SEMICON Europa에서 EVG를 만나보세요

EVG와 이종 통합을 위한 웨이퍼 본딩, 리소그래피 및 계측 솔루션 제품군에 대해 더 자세히 알고 싶은 SEMICON Europa 참석자들은 독일 뮌헨 메세 뮌헨 컨벤션 센터에서 11월 14일부터 17일까지 부스 B1213(Hall B1)에서 EVG를 방문하도록 초대됩니다. .

실리콘 오스트리아 연구소(SAL) 소개

Silicon Austria Labs GmbH(SAL)는 유럽 포럼 Alpbach의 일부로 2018년 전자 기반 시스템 분야의 대학 외 비대학 우수 센터로 설립되었습니다. Graz, Villach 및 Linz에 위치한 연구소에서는 마이크로 시스템, 센서 시스템, 전력 전자 장치, 지능형 무선 시스템 및 임베디드 시스템 분야의 핵심 기술에 대한 연구가 수행됩니다. SAL은 산업계와 과학계의 핵심 인력과 귀중한 전문 지식 및 노하우를 한자리에 모아 가치 사슬을 따라 협력적이고 응용 중심적인 연구를 수행합니다. 목표는 우수한 연구와 경제적 이점을 통해 아이디어에서 혁신까지 가치 창출 프로세스를 가속화하는 것입니다. 소유자는 공화국(50.1%), 스티리아 주와 카린티아 주(각각 10%), 어퍼 오스트리아 주(4.95%), 전기 전자 산업 전문 협회(24.95%)입니다. SAL에 대한 자세한 내용은 https://silicon-austria-labs.com/에서 확인할 수 있습니다.

EV 그룹(EVG) 소개

EV 그룹(EVG)은 반도체, 미세 전자 기계 시스템(MEMS), 화합물 반도체, 전력 장치 및 나노기술 장치 제조를 위한 장비 및 프로세스 솔루션을 공급하는 선도적인 공급업체입니다. 주요 제품에는 웨이퍼 본딩, 얇은 웨이퍼 처리, 리소그래피/나노임프린트 리소그래피(NIL) 및 계측 장비는 물론 포토레지스트 코팅기, 클리너 및 검사 시스템이 포함됩니다. 1980년에 설립된 EV 그룹은 전 세계 글로벌 고객 및 파트너의 정교한 네트워크에 서비스를 제공하고 지원합니다. EVG에 대한 자세한 내용은 www.EVGroup.com에서 확인할 수 있습니다.

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